深圳某半导体企业万级洁净车间 FFU 系统工程

项目背景

客户为深圳某半导体封装企业，新建生产线对洁净度要求达到万级（ISO 7），需在短时间内完成洁净车间规划与设备集成。

解决方案

• 采用 FFU 风机过滤单元作为送风末端，灵活分区控制，缩短建设周期；
• 配置单人双吹风淋室作为人员净化通道，双门电子互锁；
• 安装风淋传递窗实现物料跨区传递，过滤效率 99.99%；
• 按 ISO14644-1 标准进行洁净度验收。

项目成果

项目按期交付并通过第三方洁净度检测，FFU 系统运行稳定，客户生产线顺利投产，后续持续采购过滤器耗材。