洁净室正压控制的原理与实践

洁净室正压控制是保持室内洁净度的关键手段之一。通过使洁净室内的空气压力高于室外或相邻低等级区域，防止外部污染空气通过门缝、管道穿越等处渗透进入洁净区域。

正压控制的基本要求

• 洁净区对非洁净区的正压差不小于10Pa
• 不同等级洁净区之间的压差不小于5Pa
• 对于有有害气体或粉尘产生的区域应采用负压控制

实现方式

通过控制送风量和回风量（排风量）的差值来维持室内正压。常用的方式包括余压阀控制、变频风机调节和自动控制系统联动等。